缺陷檢測設備 - 睿勵科學儀器（上海）有限公司 - 睿勵科學儀器（上海）有限公司

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FSD100c & 150c

FSD100c & 150c是睿勵科學儀器（上海）有限公司專為LED、化合物半導體以及光通訊領域中的有圖形晶圓（COW）的外觀缺陷檢測開發的AOI設備，該系統具有高分辨率、高速、高性價比的特點，可按照客戶的晶圓尺寸，可定制適用于2寸、3寸、4寸、5寸及6寸有圖形晶圓（Chip On Wafer）缺陷...

FSD150s

FSD150s是睿勵科學儀器（上海）有限公司專為LED襯底拋光片外觀缺陷檢測開發生產的全自動光學檢測設備（AOI），適用于藍寶石襯底片（拋光片）表面缺陷檢測。為LED襯底片廠家全面控制產品的出貨品質及改善生產過程中良率。?

FSD150e & FSD150i

FSD150e?&?FSD150i是睿勵科學儀器（上海）有限公司專為LED市場開發生產的全自動光學檢測設備（AOI），適用于藍寶石圖形襯底（PSS）晶圓生產工藝中的表面缺陷檢測以及外延片檢測。該系統具有高分辨率、高速、高性價比的特點，并能根據檢測結果進行自動分揀。既能為LED生產廠商提高生產效率，又...

FSD300--自動宏觀缺陷檢測系統，適用于300mm硅片……

FSD300自動宏觀缺陷檢測系統簡介睿勵微電子設備(上海)有限公司生產的自動宏觀缺陷檢測系統（FSD300），具有快速，準確，可靠和低成本等優點，可用于工藝及產品質量檢測，從而提高硅片制造的良率和品質。

FSD200μ--自動宏觀缺陷檢測系統，適用于200mm硅片……

FSD200μ自動宏觀缺陷檢測系統簡介睿勵微電子設備(上海)有限公司生產的自動宏觀缺陷檢測系統（FSD200u），具有快速，準確，可靠和低成本等優點，可用于工藝及產品質量檢測，從而提高硅片制造的良率和品質。

FSD100e--專為LED市場開發生產的自動光學檢測設備……

FSD100e是睿勵微電子設備(上海)有限公司專為LED市場開發生產的自動光學檢測設備（AOI），適用于藍寶石襯底、圖形襯底、外延片和芯片等各種工藝。該系統具有高分辨率、高速、高性價比的特點，并能根據檢測結果進行自動分揀。既能為LED生產廠商提高生產效率，又可為進行全面良率管理提供數據。FSD100...