FSD150s是睿勵科學儀器（上海）有限公司專為LED襯底拋光片外觀缺陷檢測開發生產的全自動光學檢測設備（AOI），適用于藍寶石襯底片（拋光片）表面缺陷檢測。為LED襯底片廠家全面控制產品的出貨品質及改善生產過程中良率。?

FSD150s系統主要特點:
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·???? 低持有成本、高穩定性和高可靠性的設計
·???? 4吋及6吋晶圓通用
·???? 適用于襯底拋光片檢測???

·? ? ?自主開發的劃傷增強算法（EASI?RSIC）
·???? 同時檢測微觀及宏觀缺陷
·???? 全表面檢測、自動缺陷分類、自動存儲缺陷圖像
·???? 高分辨率的缺陷復查功能
·???? 根據檢測結果自動分揀，提高生產效率
·???? 為管理工藝漂移提供有效手段,為良率管理提供數據
·???? 支持工廠自動數據傳遞

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設備圖片：