FSD150e &?FSD150i是睿勵科學儀器（上海）有限公司專為LED市場開發生產的全自動光學檢測設備（AOI），適用于藍寶石圖形襯底（PSS）晶圓生產工藝中的表面缺陷檢測以及外延片檢測。該系統具有高分辨率、高速、高性價比的特點，并能根據檢測結果進行自動分揀。既能為LED生產廠商提高生產效率，又可為全面良率管理提供數據。FSD150e &?FSD100i在國內市場已銷售至數家客戶并獲得肯定和好評。
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FSD150e &?FSD150i系統主要特點:
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·???? 低持有成本、高穩定性和高可靠性的設計
·???? 4吋及6吋晶圓通用
·???? 適用于PSS端檢測?和外延片?
·???? 同時檢測微觀及宏觀缺陷
·???? 全表面檢測、自動缺陷分類、自動存儲缺陷圖像
·???? 高分辨率的缺陷復查功能
·???? 根據檢測結果自動分揀，提高生產效率
·???? 為管理工藝漂移提供有效手段,為良率管理提供數據
·???? 支持工廠自動數據傳遞