FSD100e是睿勵微電子設備(上海)有限公司專為LED市場開發生產的自動光學檢測設備（AOI），適用于藍寶石襯底、圖形襯底、外延片和芯片等各種工藝。該系統具有高分辨率、高速、高性價比的特點，并能根據檢測結果進行自動分揀。既能為LED生產廠商提高生產效率，又可為進行全面良率管理提供數據。FSD100e正在市場上推廣，已受到客戶的肯定和好評。
?
FSD100e系統主要特點:
?
·???? 低持有成本、高穩定性和高可靠性的設計
·???? 兩吋及四吋藍寶石襯底通用
·???? 特別適用于PSS檢測???
·???? 同時檢測微觀及宏觀缺陷
·???? 全表面檢測、自動缺陷分類、自動存儲缺陷圖像
·???? 高分辨率的缺陷復查功能
·???? 根據檢測結果自動分揀，提高生產效率
·???? 為管理工藝漂移提供有效手段,為良率管理提供數據
·???? 支持工廠自動數據傳遞