? TFX3000 OCD是睿勵科學儀器（上海）有限公司自主創新開發，具有自主知識產權的集成電路生產線300mm硅片全自動光學關鍵尺寸（OCD）和形貌測量系統。其在TFX3000系統基礎上集成光學關鍵尺寸測量模塊，除具有300mm全自動光學膜厚測量能力外，還可以進行顯影后檢查（ADI）、刻蝕后檢查（AEI）等多種工藝段的二維或三維樣品的線寬、側壁角度（SWA）、高度/深度等關鍵尺寸（CD）特征或整體形貌測量?？蓽y量二維多晶硅柵極刻蝕（PO）、隔離槽（STI）、隔離層（Spacer）、雙重曝光（Double Patterning）或三維連接孔（VIA）、鰭式場效應晶體管（FinFET）、閃存（NAND）等多種樣品。具有高速、準確和非破壞性等特點。