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TFX3200是應用于8英寸大規模集成電路前端生產線上的薄膜厚度測量設備,該產品具備與12英寸膜厚測量設備相同的測量性能和設備穩定性。與同類型其他設備相比,產能領先1倍以上,擁有極高的性價比。