張通社3月1日晚間獲悉，近日中微半導體設備（上海）股份有限公司（以下簡稱“中微”）完成對睿勵科學儀器（上海）有限公司（以下簡稱“睿勵”）1億元人民幣增資。

睿勵致力于集成電路生產前道工藝檢測領域設備研發和生產，是國內少數幾家進入國際領先的12英寸生產線的高端裝備企業之一，并且是國內唯一進入韓國某領先芯片生產企業的國產集成電路設備企業。

其主營產品為光學膜厚測量設備和光學缺陷檢測設備，以及硅片厚度及翹曲測量設備等。睿勵自主研發的12英寸光學測量設備TFX3000系列產品，已應用在65/55/40/28納米芯片生產線并在進行了14納米工藝驗證，在3D存儲芯片產線支持64層3DNAND芯片的生產，并正在驗證96層3DNAND芯片的測量性能。睿勵應用于LED藍寶石襯底圖形檢測的自動光學檢測設備，也已成功銷售到眾多國內LEDPSS襯底和LED芯片生產線。睿勵正在開發下一代可支持更高階芯片制程工藝的膜厚和OCD測量設備以及應用于集成電路芯片生產的缺陷檢測設備，進一步擴大可服務的市場規模。?

本輪增資之前，睿勵的股東陣容堪稱豪華：浦東科創、張江科投、國家大基金、上海創投、上海國盛等一眾知名產業投資機構。其中，浦東科創作為睿勵第一大股東，在睿勵的發展中起到關鍵的作用。早在2009年，浦東科創就投資睿勵成為其早期股東之一，并在隨后十多年數次增資睿勵。作為地方國資，浦東科創履行產業扶持的使命，不斷為睿勵的發展對接有利的政策，并為其引進相應的人才；作為產業資源整合者，浦東科創幫助睿勵打通行業上下游，幫助其獲得強有力的訂單支持。十多年的堅守，終換來如今睿勵令人興奮的未來，也為中國半導體產業注入了持久的活力。

本輪1億元增資后，中微繼而成為睿勵第一大股東。引入中微這一重量級產業資本，一方面是基于中微以及尹志堯先生成功的創業經驗和崇高的行業地位；另一方面，也是考慮到兩者合作能形成更高層次的產業鏈整合，進而幫助中微、浦東乃至上海的半導體高端裝備做大做強。中微也將抓住與睿勵合作這一關鍵機遇，給予睿勵資金、技術、管理等全方位的支持，在如今國內半導體行業大發展的黃金時期勇攀高峰。